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                            電容式位移傳感器應用案例

                             

                            應用一 高精度定位

                            1)高精度位移機構的定位傳感器,尤其是納米級定位。如封裝機中的位移機構,壓電陶瓷電機,音叉電機,納米位移臺等;

                            2)快速伺服機構的高精度定位,如機床的位移控制機構;

                            3)相對運動或相對位置的精確定位,重復定位;

                            4)靜力水準儀,用于大型設施高精度水平控制。

                             

                            應用二 位移變形角度振動等測量

                            1)轉軸、位移臺等移動位移、直線度、平面度測量;

                            2)材料剛度、撓度、膨脹、變形等精密測量;

                            3)高精度角度傳感器或旋轉編碼器;

                            4)振動測量,如主動隔振系統、半導體制造平臺或晶圓片的微小振動、航天部件超高頻微小振動檢測等。

                             

                            應用三 厚度檢測

                            1)油膜、水膜、絕緣層厚度;

                            2)零件、薄膜、光盤、磁性介質厚度;

                            3)剎車片厚度檢測(磨損檢測);

                             

                            應用四 旋轉機械間隙、跳動測量

                            1)軸心軌跡或跳動監測、如高精度電機主軸、機床主軸、硬盤驅動電機、軸承等;

                            2)發動機轉子軸向間隙、級間間隙、蓖齒間隙檢測;

                            3)發動機、轉子等裝配間隙檢測;

                             

                            應用五 自動對焦或調零

                            1)天文望遠鏡等對焦對準或位移機構控制;

                            2)半導體加工過程光學鏡頭對焦或調零控制;

                            3)激光切割機或焊接機對準調零控制;

                             

                            應用六 介電常數檢測

                            1)油液品質檢測;

                            2)非導電材料密度測量;

                            3)培養皿液面高度測量;

                            4)物料水份的測量;

                            5)絕緣層破損檢測;

                            6)塑料薄膜厚度檢測,鋰電池復合膜厚度檢測。

                             

                            enlightened薄膜厚度測量

                            隨著薄膜厚度的變化,傳感器與金屬輥間的介電常數會發生變化,從而測出薄膜厚度的變化。

                             

                             

                            enlightened油膜厚度測量

                            隨著油膜厚度的變化,傳感器與活塞間的介電常數會發生變化,從而測出油膜厚度的變化。

                             

                             

                            enlightened晶圓厚度測量

                             

                             

                            enlightened軋鋼板厚度測量

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